109

Продукция

Центр предлагает изготовление фотошаблонов для проведения литографических процессов методами:

  1. Контактной фотолитографии, масштаб изображения 1:1;
  2. Проекционной фотолитографии, масштаб изображения 10:1, 5:1, 4:1.

Фотошаблоны изготавливаются на подложках из щелочного стекла или из синтетического кварца, с хромовым маскирующим покрытием.

Типоразмеры изготавливаемых фотошаблонов: 127x127x2,24 мм (5009), 152х152х6,35 мм (6025), 177,4х177,4х3,1 мм (7012).

На кварцевые фотошаблоны 152х152х6,35 мм возможна установка пелликлов.

Основные технические характеристики изготавливаемых фотошаблонов:

Минимальный размер на фотошаблоне (мкм) Тип фотошаблона Спецификация
Допуск на размер (±мкм) Совмещение
(мкм)
Дефекты
(мкм)
0,6-0,9 Бинарный
≥0,08
≥0,15
≥0,25
1-2 Бинарный
≥0,1
≥0,15
≥0,25
2,5-5 Бинарный
≥0,1
≥0,15
≥0,5
>5 Бинарный
≥0,1
≥0,15
≥0,5
Центр расположен на территории особой экономической зоны Зеленоградского АО г.Москвы
Центр расположен на территории особой экономической зоны Зеленоградского АО г.Москвы
Использование современного оборудования на всех этапах производства
Использование современного оборудования на всех этапах производства



Наши партнеры
Vistec КБТЭМ-ОМО MIET

ЦКППИФ
© 2008-2015  
e-mail Контакты
+7 (499) 720-69-67